青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
賣家服務(wù)時(shí)間
9:00--17:00
價(jià)格:
行業(yè)分類:機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/電子產(chǎn)品制造設(shè)備/電子電器生產(chǎn)線
產(chǎn)品類別:
品 牌:福潤德
規(guī)格型號:
庫 存:
生 產(chǎn) 商:青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
產(chǎn) 地:中國山東省青島市
LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè),對圓片及殘片進(jìn)行合金、退火、擴(kuò)散、氧化等工藝。主要性能指標(biāo):
外型形式:臥式1—4管結(jié)構(gòu),水平爐管
工作溫度:200℃—1100℃
恒溫區(qū)長度:≥600mm
硅片規(guī)格:適用于2—6英寸硅片以及碎片
恒溫區(qū)精度:≤±1℃(在400—1000℃范圍內(nèi))
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性:≤±1℃/24h(在400—1000℃范圍內(nèi))
溫度過沖平衡:載料進(jìn)爐,溫度平衡到工藝時(shí)間,低于10分鐘
工藝氣體及控制:氮?dú)?、氧氣,MFC或浮子流量計(jì)控制
氣路系統(tǒng)氣密性:1×10-7PaM3/S
送料機(jī)構(gòu):懸臂石英桿載料,手動
報(bào)警系統(tǒng):工藝氣體壓力異常報(bào)警、斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警
控制方式:工控機(jī)總程控制、觸摸屏控制
規(guī)格參數(shù)
行業(yè)分類:
機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/電子產(chǎn)品制造設(shè)備/電子電器生產(chǎn)線
產(chǎn)品類別:
品 牌:
福潤德
規(guī)格型號:
庫 存:
生 產(chǎn) 商:
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
產(chǎn) 地:
中國山東省青島市
快速創(chuàng)建集企業(yè)介紹、產(chǎn)品服務(wù)、直播等一體的個(gè)性旺鋪
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