青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
賣家服務(wù)時(shí)間
9:00--17:00
價(jià)格:
行業(yè)分類:機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/電子產(chǎn)品制造設(shè)備/電子電器生產(chǎn)線
產(chǎn)品類別:
品 牌:福潤德
規(guī)格型號(hào):
庫 存:
生 產(chǎn) 商:青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
產(chǎn) 地:中國山東省青島市
滿足半導(dǎo)體集成電路,電力電子器件,光電子等行業(yè)用于在硅片上淀積Si O2、Si 3N4、Poly-Si、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜工藝。CVD系統(tǒng)性能特點(diǎn):
結(jié)構(gòu)形式:1—4管臥式熱壁型
硅片規(guī)格:2—8英寸硅片(或125×125mm、156×156mm方片)
溫度范圍:300~1100℃
恒溫區(qū)長度及精度:200mm—1000mm(±1℃/24h)
淀積薄膜均勻性: 片內(nèi)±5% 片間±5% 批間±5%
沉積膜厚度:600~15000A
系統(tǒng)極限真空度:優(yōu)于1Pa
工作壓力范圍:20~133Pa閉環(huán)控制
控制方式:工業(yè)微機(jī)
送料裝置:懸臂推拉舟、軟著陸系統(tǒng)
淀積薄膜分類:Si 3N4、Si02、PSG、Pply-Si膜
真空泵:羅茨泵、機(jī)械泵
工藝氣路:5路氣/管。VCR接口
40KFIz脈寬調(diào)制AE高頻電源
裝片量:200片/舟
規(guī)格參數(shù)
行業(yè)分類:
機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/電子產(chǎn)品制造設(shè)備/電子電器生產(chǎn)線
產(chǎn)品類別:
品 牌:
福潤德
規(guī)格型號(hào):
庫 存:
生 產(chǎn) 商:
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
產(chǎn) 地:
中國山東省青島市
快速創(chuàng)建集企業(yè)介紹、產(chǎn)品服務(wù)、直播等一體的個(gè)性旺鋪
升級(jí)成企業(yè)號(hào)幫助企業(yè)搭建社交移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)智能營銷平臺(tái)
自助開通商城,將智能營銷平臺(tái)、直播系統(tǒng)流量轉(zhuǎn)化成交